◎ 클린룸 설계개요 -1 ◎

- 개요 -

클린룸이란 일정공간의 청정도를 유지 시키는 것을 말한다.

ISO 14644-1 의 정의를 보면

"공기 중에 내포된 오염원이 제어되는 공간, 실내의 오염원을 보유하거나 발생시키거나,

 인입시키는 것을 최소화 하는 방법으로 건축되고 사용되는 공간.

 실내의 관련된 요인(즉 온/습도/압력 등)이 제어되는 공간" 이라고 정의 되어있다.

이는 즉, 비단 실내의 오염원(파티클 및 흄가스 등의 오염원)을 제거또는 제어 하는 것 뿐아니라

이를 위해서는 실내의 항온항습 및 실내압력 제어가 기반이 되어야 함을 의미한다.

-클린룸의 분류-

1. 용도에 따른 분류

 - Bio Clean Room

   : 세균 및 균류 등이 존재하는 공기를 차단/제거시켜 무균공간 형성을 의미함.

    (각종 배양 연구소, 수술실, 식품회사 등)

 - Industrial Clean Room

   : 공업 및 산업용도의 클린룸으로 일정공간 내 부유미립자 및 분진등

     무생물 미립자를 대상으로 하는 용도의 클린룸.

    (반도체, 필름, 디스플레이 제조공장 등)

2. 공기 순환 방식에 따른 분류

 - 층류형 클린룸

   : 기류가 한 방향으로 순환하는 클린룸으로써, 고사양의 클린룸(1~100 class @ 0.5um)을

     구성 할 수 있다. 층류형 방식으로는 수직형과 수평형으로 나뉘며 수직형의 경우 상부 뿐만이

     아니라 하부에도 Retrun Plenum을 구성해야 한다.

     이방식을 국부적으로 채택하여 일부분의 고사양 청정도를 요구하는곳에도 구성하기도 한다.

     사용되는 클린장비로는 FFU / BFU 등이 있다.

 - 난류형 클린룸

   : 기류가 한방향이 아닌 여러방향으로 순환하는 클린룸으로써,

     준클린룸(1,000~100,000 class @ 0.5um)을 구성하는 방식이다. 바닥순환형 과 벽면순환형

     으로 나뉘며 AHU를 통하여 실내에 외기를 도입, 먼지를 희석시키는 방식이다.

     고사양의 청정도를 요구치 않는 대부분의 제조공장에 적용하였다.

     사용되는 클린장비로는 HEPA BOX / BFU 등이 있다.

 - 기타

   : 이 외에 오픈베이 방식 및 터널방식 등의 클린룸 방식이 있다.

     근래에 들어 보다 고품질을 제조해야 하는 제조업체로 인하여 고사양 청정도를

     요구하게됨에 따라 준클린룸(1,000 ~ 100,000 class @ 0.5um)제조공장에 국부적인

     고청정도 시스템을 적용하기도 한다. 작년부터 보급이 많이 된 V-Master 등을 예로들수 있다.

    (V-Master 에 대한 자료는 추후 게시 예정)

성진플랜트 설계팀 작성.

도용시 출처를 밝혀주십시오.